ECSEL

Födermittelgeber:
IMEC & BMBF

Projektart:
Verbundsprojekt

Thema/Vorhabensbeschreibung:
Materials in Quantum Computing (MATQu)

Teilthema / Prioritätsachse:
Modellieren und Einbringen von wirkungsoptimierten Phasen-Fluid-Formulierungen zur Anwendung im Photolack-Stripping und zur Oberflächenreinigung in Prozessen zur Herstellung von Quantenbits.

Projektzeitraum:
01.09.2021 – 31.05.2024 (EU: 01.06.2021 – 31.05.2024)

Ziel:
Stripping Prozesse zur Entfernung von Photolacken nach photolithographischen Prozessen sowie die Reinigung von Substratoberflächen praktisch nach jedem Prozessschritt stellen in der heutigen Produktion mikroelektronischer Bauteile (Mikroprozessoren, Speicherelemente etc.) und damit auch bei der Herstellung von Qbits einen sehr großen Teil der Prozessschritte insgesamt dar.

Wegen der Häufigkeit der Stripping- und Reinigungsschritte gewinnt die Optimierung dieser Schritte hinsichtlich grundsätzlicher Machbarkeit der Herstellung der beabsichtigen Bauelemente sowie hinsichtlich der ökonomischen und ökologischen Qualität der Projektergebnisse und damit hinsichtlich wirtschaftlicher und gesellschaftlicher Akzeptanz der aufzubauenden Wertschöpfungskette an Bedeutung.

Traditionelle Stripping – und Reinigungsmittel sind i.d.R. sehr aggressive und umweltunfreundliche Chemikalien mit begrenzter Reinigungsselektivität, die zu unerwünschten
Wirkungsnachteilen wie unvollständigem Strippen und Reinigen mit Angriffen der darunterliegenden Schichten/Oberflächen in Form von Anätzung, Aufrauhung und Schichtdünnung und im Stripping Prozess zu Linienkollaps führen können.

Die intelligent fluids ® (IF) Technologie mit den IF Formulierungen adressiert genau diese Nachteile und bietet hierfür Lösungen an, die final als Beiträge von IFC zur Machbarkeit der Prozessschritte insgesamt, zur ausreichenden Wirkung und Selektivität sowie zu vorteilhaften ökonomischen – und ökologischen Ergebnissen führen sollen.

Projektpartner Forschung:
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG
DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX
ENERGIES ALTERNATIVES (CEA)
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM (IMEC)
BESI AUSTRIA GMBH (BESI)
DELFT CIRCUITS B.V. (Delft Circuits)
SOITEC SA (SOITEC SA)
IQM FINLAND OY (IQM)
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (VTT)
SILTRONIC AG (SILTRONIC AG)
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH (ATOTECH)
KEYSIGHT TECHNOLOGIES DEUTSCHLAND GMBH
KIUTRA GMBH
TECHNIC FRANCE
ORANGE QUANTUM SYSTEMS OPERATIONAL BV (Orange QS)
BULL SAS (Atos)
MELLANOX TECHNOLOGIES LTD – MLNX (MELLANOX)
BENEQ OY

Projektkoordinator:
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG
DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Ergebnis nach Projektabschluss:
läuft noch