Forschung und Entwicklung

Fördermittelgeber:
Investitionsbank Sachsen-Anhalt – Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE)

Projektart:
Verbundprojekt

Thema/Vorhabensbeschreibung:
Phasenfluidische Toolbox für das Mikroelektronik Processing “TOMI”
Teilthema / Prioritätsachse
Vorhabensentwicklung eines innovativen Baukastensystems (Toolbox) für die universelle Entfernung von Prozessrückständen in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden. Ziel ist es dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligenten Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.

Projektzeitraum:
01.03.2020 – 30.04.2022

Ziel:
Zum 01.03.2020 genehmigte die Investitionsbank Sachsen-Anhalt den vorzeitigen Maßnahmenbeginn für das Verbundförderprojekt TOMI. Im Rahmen dieses Projektes sollen in Zusammenarbeit mit der Hochschule Merseburg (HoMe) Struktur-Eigenschaftsbeziehungen der IFC-eigenen Phasenfluid-Technologie untersucht werden.

Als wesentliches Charakteristikum wird derzeit die Dynamik der Phasenfluide angesehen. Es gibt bereits Hinweise darauf, dass ein Zusammenhang zwischen eben dieser sogenannten „Mikroerdbeben“-Dynamik und der Fluidperformance bestehen könnte. Vor allem in der Halbleiter/Mikroelektronik-Industrie ist die Performance ein entscheidendes Kaufkriterium.

Innerhalb der nächsten 2 Jahre soll es nun gelingen, die Performance der Phasenfluide auf die Mikroelektronik-Prozesse hin zu modellieren und zu optimieren. Im Anschluss daran soll aus den Erkenntnissen abgleitet ein modulares Produktions-Baukastensystem (Toolbox) entstehen, mit dem maßgeschneiderte und auf Kundenanforderung hin optimierte Fluide in kürzester Zeit produziert werden.

Es handelt sich bei TOMI um ein hauptsächlich auf die Produktion am Standort Leuna ausgerichtetes Grundlagenforschungsprojekt, das über eine Laufzeit von 2 Jahren angelegt ist.

Projektpartner Forschung:
Hochschule Merseburg

Proejktoordinator:
Intelligent fluids GmbH

Ergebnis nach Projektabschluss:
Im Rahmen des TOMI-Projektes wurde eine modulare Fluidplattform entwickelt, die es ermöglicht, zielgerichtet phasenfluidische Formulierungen zu optimieren.

Es wurden außerdem wichtige Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Bezug auf Inhaltsstoffe unserer Produkte identifiziert. Mit Hilfe der Ergebnisses des Projektes konnten damit Performance-Steigerungen von über 20% besserer Reinigungsleistung unserer Fluide im Mikroelektronikbereich erreicht werden.