Intelligent fluid® ist der Beginn einer neuen Ära professioneller Reinigungsmaterialien für industrielle Anwendungen, die höchste Performance mit Nachhaltigkeit vereinen.
SMARTPROD
Födermittelgeber:
SAB- Sächsische Aufbaubank
Projektart:
Pilotlinien-Projekt auf dem Gebiet der Schlüsseltechnologien (KETs-Pilotlinie)
Thema/Vorhabensbeschreibung:
SMARTPROD – Fertigungsqualifizierung einer neuartigen Reinigungstechnologie in der Mikroelektronik auf Basis von Phasen-Fluiden
Teilthema / Prioritätsachse:
Aufbau und Qualifizierung einer Pilotlinie zur Herstellung von intelligent fluids™ für den Einsatz in der Mikroelektronik
Projektzeitraum:
01.01.2017 – 30.06.2019
Ziel:
Ziel des Projektvorhabens PRIME ist es eine offene Ultra-Low-Power-Plattform für die Internet-der Dinge-Revolution (IoT: Internet-of-Things) zu schaffen, die alle notwendigen Komponenten entlang der Wertschöpfungskette enthält (Halbleitertechnologie, Anlagenhersteller, Produkt-Design, innovative Architekturen, Systemmodule etc.), um die Konkurrenzfähigkeit der europäischen Industrie im weltweiten Kontext nachhaltig zu stärken. Dies wird durch eine enge Zusammenarbeit den akademischen Partnern TU Dresden und Fraunhofer und mit den Großunternehmen Singulus, ZMDI und GLOBALFOUNDRIES ermöglicht. Darüber hinaus sind die KMUs Dreamchip (Design) und IFC eingebunden. Zukünftige IoT-Systeme müssen sehr kostengünstig sein und darüber hinaus über einen extrem geringen Energieverbrauch verfügen – PRIME soll die dafür notwendigen innovativen Technologien entwickeln. Der Projektabschnitt von IFC beschäftigt sich mit der Waferprozesssierung, insbesondere mit dem Entfernen von Fotolacken, sog. Fotoresists. Ziel ist es, die sanften Fluide (intelligent fluids ™ (IF) von IFC für derlei Stripping Prozesse hinsichtlich Ihrer Wirkung, Eignung und Zuverlässigkeit auf Realsubstraten zu testen.
Projektpartner Forschung:
Fraunhofer IPMS – Center Nanoelectronic Technologies (CNT), Dresden
Projektpartner industrie/Technologieanwender:
GLOBALFOUNDERSDresden Module One LLC & Co. KG, Dresden (BG)
Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG, Dresden (AMTC)
Es ist gelungen, im Zeitplan eine IF Pilot- Herstellanlage zu erstellen, die die geplanten Mengen in der geplanten VLSI Qualität und bei entsprechender Mengenherstellung auch zu vertretbaren Kosten herzustellen. Damit ist die Voraussetzung der Belieferung des Marktes mit IFs und damit die Voraussetzung zum Einsatz der IF Technologie im Markt gegeben.
EXCEL/PRIME
Fördermittelgeber:
IMEC & BMBF – VDI/VDI – IT (Bund und Freistaat Sachsen)
Neue Fertigungstechnologien für innovative Elektroniksysteme für das Internet der Dinge – PRIME
Teilthema / Prioritätsachse
Intelligent Fluids EcoStrip für FeoL Anwendungen in PRIME
Projektzeitraum
01.04.2016 – 31.03.2019 (verlängert bis 30.09.2019)
Ziel:
Ziel des Projektvorhabens PRIME ist es eine offene Ultra-Low-Power-Plattform für die Internet-der Dinge-Revolution (IoT: Internet-of-Things) zu schaffen, die alle notwendigen Komponenten entlang der Wertschöpfungskette enthält (Halbleitertechnologie, Anlagenhersteller, Produkt-Design, innovative Architekturen, Systemmodule etc.), um die Konkurrenzfähigkeit der europäischen Industrie im weltweiten Kontext nachhaltig zu stärken. Dies wird durch eine enge Zusammenarbeit den akademischen Partnern TU Dresden und Fraunhofer und mit den Großunternehmen Singulus, ZMDI und GLOBALFOUNDRIES ermöglicht. Darüber hinaus sind die KMUs Dreamchip (Design) und IFC eingebunden. Zukünftige IoT-Systeme müssen sehr kostengünstig sein und darüber hinaus über einen extrem geringen Energieverbrauch verfügen – PRIME soll die dafür notwendigen innovativen Technologien entwickeln. Der Projektabschnitt von IFC beschäftigt sich mit der Waferprozesssierung, insbesondere mit dem Entfernen von Fotolacken, sog. Fotoresists. Ziel ist es, die sanften Fluide (intelligent fluids ™ (IF) von IFC für derlei Stripping Prozesse hinsichtlich Ihrer Wirkung, Eignung und Zuverlässigkeit auf Realsubstraten zu testen.
Projektpartner Forschung:
Interuniversitair Micro-Electronica Centrum IMEC VZW (IMEC), Heverlee, Belgien
GLOBALFOUNDRIES, Dresden Deutschland
Fraunhofer Gesellschaft FhG-IPMS / IIS-EAS, Dresden, Deutschland
ST Microelectronics S.A., Frankreich
Commissariat a l Energie Atomique et aux Energies Alternatives (CEA) EPIC, Grenoble, Frankreich
Technische Universität Dresden, Dresden, Deutschland
Zentrum Mikroelektronik Dresden AG, Dresden, Deutschland
CEZAMAT PW Sp. Z.o.o., Warszawa, Polen
SureCore Ltd, Leeds, UK
Technolution B. V., Gouda, Niederlande
Intrinsic ID B. V., Eindhoven, Niederlande
S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies SA, Bernin, Frankreich
Dream Chip Technologies GmbH, Garbsen, Deutschland
Singulus Technologies AG, Kahl am Main, Deutschland
Interuniversitair Micro-Electronica Centrum IMEC VZW (IMEC), Heverlee, Belgien
Ergebnis nach Projektabschluss:
Die Photoresist-Stripper auf Phasenfluid-Technologie wurden im Rahmen dieses Projektes zu einem marktreifen Produkt weiterentwickelt. Die IFC-Formulierungen können allerdings aktuell nur in Bereichen mit weniger anspruchsvollen Parikelanforderungen oder potenterem Prozessequipment zum Einsatz kommen, z.B. beim metal-lift-off.
Forschung und Entwicklung
Fördermittelgeber:
Investitionsbank Sachsen-Anhalt – Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE)
Projektart:
Verbundprojekt
Thema/Vorhabensbeschreibung:
Phasenfluidische Toolbox für das Mikroelektronik Processing “TOMI”
Teilthema / Prioritätsachse
Vorhabensentwicklung eines innovativen Baukastensystems (Toolbox) für die universelle Entfernung von Prozessrückständen in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden. Ziel ist es dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligenten Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.
Projektzeitraum
01.03.2020 – 30.04.2022
Ziel:
Zum 01.03.2020 genehmigte die Investitionsbank Sachsen-Anhalt den vorzeitigen Maßnahmenbeginn für das Verbundförderprojekt TOMI. Im Rahmen dieses Projektes sollen in Zusammenarbeit mit der Hochschule Merseburg (HoMe) Struktur-Eigenschaftsbeziehungen der IFC-eigenen Phasenfluid-Technologie untersucht werden. Als wesentliches Charakteristikum wird derzeit die Dynamik der Phasenfluide angesehen. Es gibt bereits Hinweise darauf, dass ein Zusammenhang zwischen eben dieser sogenannten „Mikroerdbeben“-Dynamik und der Fluidperformance bestehen könnte. Vor allem in der Halbleiter/Mikroelektronik-Industrie ist die Performance ein entscheidendes Kaufkriterium. Innerhalb der nächsten 2 Jahre soll es nun gelingen, die Performance der Phasenfluide auf die Mikroelektronik-Prozesse hin zu modellieren und zu optimieren. Im Anschluss daran soll aus den Erkenntnissen abgleitet ein modulares Produktions-Baukastensystem (Toolbox) entstehen, mit dem maßgeschneiderte und auf Kundenanforderung hin optimierte Fluide in kürzester Zeit produziert werden. Es handelt sich bei TOMI um ein hauptsächlich auf die Produktion am Standort Leuna ausgerichtetes Grundlagenforschungsprojekt, das über eine Laufzeit von 2 Jahren angelegt ist.
Projektpartner Forschung:
Hochschule Merseburg
Proejktoordinator:
Intelligent fluids GmbH
Ergebnis nach Projektabschluss:
Im Rahmen des TOMI-Projektes wurde eine modulare Fluidplattform entwickelt, die es ermöglicht, zielgerichtet phasenfluidische Formulierungen zu optimieren. Es wurden außerdem wichtige Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Bezug auf Inhaltsstoffe unserer Produkte identifiziert. Mit Hilfe der Ergebnisses des Projektes konnten damit Performance-Steigerungen von über 20% besserer Reinigungsleistung unserer Fluide im Mikroelektronikbereich erreicht werden.
ECSEL
Födermittelgeber:
IMEC & BMBF
Projektart:
Verbundsprojekt
Thema/Vorhabensbeschreibung:
Materials in Quantum Computing (MATQu)
Teilthema / Prioritätsachse:
Modellieren und Einbringen von wirkungsoptimierten Phasen-Fluid-Formulierungen zur Anwendung im Photolack-Stripping und zur Oberflächenreinigung in Prozessen zur Herstellung von Quantenbits.
Stripping Prozesse zur Entfernung von Photolacken nach photolithographischen Prozessen sowie die Reinigung von Substratoberflächen praktisch nach jedem Prozessschritt stellen in der heutigen Produktion mikroelektronischer Bauteile (Mikroprozessoren, Speicherelemente etc.) und damit auch bei der Herstellung von Qbits einen sehr großen Teil der Prozessschritte insgesamt dar. Wegen der Häufigkeit der Stripping- und Reinigungsschritte gewinnt die Optimierung dieser Schritte hinsichtlich grundsätzlicher Machbarkeit der Herstellung der beabsichtigen Bauelemente sowie hinsichtlich der ökonomischen und ökologischen Qualität der Projektergebnisse und damit hinsichtlich wirtschaftlicher und gesellschaftlicher Akzeptanz der aufzubauenden Wertschöpfungskette an Bedeutung.Traditionelle Stripping – und Reinigungsmittel sind i.d.R. sehr aggressive und umweltunfreundliche Chemikalien mit begrenzter Reinigungsselektivität, die zu unerwünschten Wirkungsnachteilen wie unvollständigem Strippen und Reinigen mit Angriffen der darunterliegenden Schichten/Oberflächen in Form von Anätzung, Aufrauhung und Schichtdünnung und im Stripping Prozess zu Linienkollaps führen können. Die intelligent fluids ® (IF) Technologie mit den IF Formulierungen adressiert genau diese Nachteile und bietet hierfür Lösungen an, die final als Beiträge von IFC zur Machbarkeit der Prozessschritte insgesamt, zur ausreichenden Wirkung und Selektivität sowie zu vorteilhaften ökonomischen – und ökologischen Ergebnissen führen sollen.
Projektpartner Forschung:
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (CEA)
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM (IMEC)
BESI AUSTRIA GMBH (BESI)
DELFT CIRCUITS B.V. (Delft Circuits)
SOITEC SA (SOITEC SA)
IQM FINLAND OY (IQM)
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (VTT)
SILTRONIC AG (SILTRONIC AG)
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH (ATOTECH)
KEYSIGHT TECHNOLOGIES DEUTSCHLAND GMBH
KIUTRA GMBH
TECHNIC FRANCE
ORANGE QUANTUM SYSTEMS OPERATIONAL BV (Orange QS)
BULL SAS (Atos)
MELLANOX TECHNOLOGIES LTD – MLNX (MELLANOX)
BENEQ OY
Projektkoordinator:
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
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