SMARTPRODโ
Fรถdermittelgeber:
SAB- Sรคchsische Aufbaubank
Projektart:
Pilotlinien-Projekt auf dem Gebiet der Schlรผsseltechnologien (KETs-Pilotlinie)
Thema/Vorhabensbeschreibung:
SMARTPROD – Fertigungsqualifizierung einer neuartigen Reinigungstechnologie in der Mikroelektronik auf Basis von Phasen-Fluiden
Teilthema / Prioritรคtsachse:
Aufbau und Qualifizierung einer Pilotlinie zur Herstellung von intelligent fluidsโข fรผr den Einsatz in der Mikroelektronik
Projektzeitraum:
01.01.2017 – 30.06.2019
Ziel:
Ziel des Projektvorhabens PRIME ist es eine offene Ultra-Low-Power-Plattform fรผr die Internet-der Dinge-Revolution (IoT: Internet-of-Things) zu schaffen, die alle notwendigen Komponenten entlang der Wertschรถpfungskette enthรคlt (Halbleitertechnologie, Anlagenhersteller, Produkt-Design, innovative Architekturen, Systemmodule etc.), um die Konkurrenzfรคhigkeit der europรคischen Industrie im weltweiten Kontext nachhaltig zu stรคrken. Dies wird durch eine enge Zusammenarbeit den akademischen Partnern TU Dresden und Fraunhofer und mit
den Groรunternehmen Singulus, ZMDI und GLOBALFOUNDRIES ermรถglicht. Darรผber hinaus sind die KMUs Dreamchip (Design) und IFC eingebunden. Zukรผnftige IoT-Systeme mรผssen sehr kostengรผnstig sein und darรผber hinaus รผber einen extrem geringen Energieverbrauch verfรผgen โ PRIME soll die dafรผr notwendigen innovativen Technologien entwickeln. Der Projektabschnitt von IFC beschรคftigt sich mit der Waferprozesssierung, insbesondere mit dem Entfernen von Fotolacken, sog. Fotoresists. Ziel ist es, die sanften Fluide (intelligent fluids โข (IF) von IFC fรผr derlei Stripping Prozesse hinsichtlich Ihrer Wirkung, Eignung und Zuverlรคssigkeit auf Realsubstraten zu testen.
Projektpartner Forschung:
Fraunhofer IPMS – Center Nanoelectronic Technologies (CNT), Dresden
Projektpartner industrie/Technologieanwender:
GLOBALFOUNDERSDresden Module One LLC & Co. KG, Dresden (BG)
Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG, Dresden (AMTC)
Photronics MZD GmbH, Dresden (PMZD)
Projektkoordinator:
Intelligent fluids GmbH (vormals Bubbles & Beyond GmbH)
Ergebnis nach Projektabschluss:
Es ist gelungen, im Zeitplan eine IF Pilot- Herstellanlage zu erstellen, die die geplanten Mengen in der geplanten VLSI Qualitรคt und bei entsprechender Mengenherstellung auch zu vertretbaren Kosten herzustellen.
Damit ist die Voraussetzung der Belieferung des Marktes mit IFs und damit die Voraussetzung zum Einsatz der IF Technologie im Markt gegeben.