Forschung und Entwicklung

Fรถrdermittelgeber:
Investitionsbank Sachsen-Anhalt โ€“ Europรคischer Fonds fรผr regionale Entwicklung (EFRE)

Projektart:
Verbundprojekt

Thema/Vorhabensbeschreibung:
Phasenfluidische Toolbox fรผr das Mikroelektronik Processing โ€œTOMIโ€
Teilthema / Prioritรคtsachse
Vorhabensentwicklung eines innovativen Baukastensystems (Toolbox) fรผr die universelle Entfernung von Prozessrรผckstรคnden in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden. Ziel ist es dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligenten Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.

Projektzeitraum:
01.03.2020 โ€“ 30.04.2022

Ziel:
Zum 01.03.2020 genehmigte die Investitionsbank Sachsen-Anhalt den vorzeitigen MaรŸnahmenbeginn fรผr das Verbundfรถrderprojekt TOMI. Im Rahmen dieses Projektes sollen in Zusammenarbeit mit der Hochschule Merseburg (HoMe) Struktur-Eigenschaftsbeziehungen der IFC-eigenen Phasenfluid-Technologie untersucht werden.

Als wesentliches Charakteristikum wird derzeit die Dynamik der Phasenfluide angesehen. Es gibt bereits Hinweise darauf, dass ein Zusammenhang zwischen eben dieser sogenannten โ€žMikroerdbebenโ€œ-Dynamik und der Fluidperformance bestehen kรถnnte. Vor allem in der Halbleiter/Mikroelektronik-Industrie ist die Performance ein entscheidendes Kaufkriterium.

Innerhalb der nรคchsten 2 Jahre soll es nun gelingen, die Performance der Phasenfluide auf die Mikroelektronik-Prozesse hin zu modellieren und zu optimieren. Im Anschluss daran soll aus den Erkenntnissen abgleitet ein modulares Produktions-Baukastensystem (Toolbox) entstehen, mit dem maรŸgeschneiderte und auf Kundenanforderung hin optimierte Fluide in kรผrzester Zeit produziert werden.

Es handelt sich bei TOMI um ein hauptsรคchlich auf die Produktion am Standort Leuna ausgerichtetes Grundlagenforschungsprojekt, das รผber eine Laufzeit von 2 Jahren angelegt ist.

Projektpartner Forschung:
Hochschule Merseburg

Proejktoordinator:
Intelligent fluids GmbH

Ergebnis nach Projektabschluss:
Im Rahmen des TOMI-Projektes wurde eine modulare Fluidplattform entwickelt, die es ermรถglicht, zielgerichtet phasenfluidische Formulierungen zu optimieren.

Es wurden auรŸerdem wichtige Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Bezug auf Inhaltsstoffe unserer Produkte identifiziert. Mit Hilfe der Ergebnisses des Projektes konnten damit Performance-Steigerungen von รผber 20% besserer Reinigungsleistung unserer Fluide im Mikroelektronikbereich erreicht werden.