SMARTPROD​

Födermittelgeber:
SAB- Sächsische Aufbaubank

Projektart:
Pilotlinien-Projekt auf dem Gebiet der Schlüsseltechnologien (KETs-Pilotlinie)

Thema/Vorhabensbeschreibung:
SMARTPROD – Fertigungsqualifizierung einer neuartigen Reinigungstechnologie in der Mikroelektronik auf Basis von Phasen-Fluiden

Teilthema / Prioritätsachse:
Aufbau und Qualifizierung einer Pilotlinie zur Herstellung von intelligent fluids™ für den Einsatz in der Mikroelektronik

Projektzeitraum:
01.01.2017 – 30.06.2019

Ziel:
Ziel des Projektvorhabens PRIME ist es eine offene Ultra-Low-Power-Plattform für die Internet-der Dinge-Revolution (IoT: Internet-of-Things) zu schaffen, die alle notwendigen Komponenten entlang der Wertschöpfungskette enthält (Halbleitertechnologie, Anlagenhersteller, Produkt-Design, innovative Architekturen, Systemmodule etc.), um die Konkurrenzfähigkeit der europäischen Industrie im weltweiten Kontext nachhaltig zu stärken. Dies wird durch eine enge Zusammenarbeit den akademischen Partnern TU Dresden und Fraunhofer und mit
den Großunternehmen Singulus, ZMDI und GLOBALFOUNDRIES ermöglicht. Darüber hinaus sind die KMUs Dreamchip (Design) und IFC eingebunden. Zukünftige IoT-Systeme müssen sehr kostengünstig sein und darüber hinaus über einen extrem geringen Energieverbrauch verfügen – PRIME soll die dafür notwendigen innovativen Technologien entwickeln. Der Projektabschnitt von IFC beschäftigt sich mit der Waferprozesssierung, insbesondere mit dem Entfernen von Fotolacken, sog. Fotoresists. Ziel ist es, die sanften Fluide (intelligent fluids ™ (IF) von IFC für derlei Stripping Prozesse hinsichtlich Ihrer Wirkung, Eignung und Zuverlässigkeit auf Realsubstraten zu testen.

Projektpartner Forschung:
Fraunhofer IPMS – Center Nanoelectronic Technologies (CNT), Dresden

Projektpartner industrie/Technologieanwender:
GLOBALFOUNDERSDresden Module One LLC & Co. KG, Dresden (BG)
Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG, Dresden (AMTC)
Photronics MZD GmbH, Dresden (PMZD)

Projektkoordinator:
Intelligent fluids GmbH (vormals Bubbles & Beyond GmbH)

Ergebnis nach Projektabschluss:
Es ist gelungen, im Zeitplan eine IF Pilot- Herstellanlage zu erstellen, die die geplanten Mengen in der geplanten VLSI Qualität und bei entsprechender Mengenherstellung auch zu vertretbaren Kosten herzustellen.

Damit ist die Voraussetzung der Belieferung des Marktes mit IFs und damit die Voraussetzung zum Einsatz der IF Technologie im Markt gegeben.